반도체 공정실은 약 9750만원의 시설투자가 이뤄져 청정시설·냉각기를 비롯한 각종 유틸리티가 설치됐다.
또 반도체 공정실은 2003년까지 제주대 공동실험실습관 산하 공정실로 운영되며 오는 2007년이면 자체적으로 수익사업을 할 수 있다.
제주대에 반도체 공정실이 설치됨에따라 반도체관련 실험실습 교육에 적용, 반도체 공정 전문기술인력 양성은 물론 신소재·신소자·ASIC 및 MEMS 개발에 적극 활용될 것으로 보인다.
한편 반도체 공정실이 설치된 대학은 제주대를 비롯해 서울대·경북대·충남대·한국과학기술원 전기전자공학과 3차원 미소구조체연구실 등이다.
제민일보
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